使用范圍:用于2-8英寸半導體晶圓片或者LED外延片
優勢:
1、 瞬間加溫300攝氏度,持續加溫250攝氏度
2、真空無痕吸附
3、純度高,不含有鹵族元素,對半導體材料無污染
4、耐化學性腐蝕
5、高強度、耐磨損
6、可以升級為防靜電PEEK制作