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扁平駐極體微電機的靜電場分析

來源:   發(fā)布時間:2017-01-07

扁平駐極體微電機的靜電場分析

微機電系統(tǒng)(MEMS)是集微型結(jié)構(gòu)、微型傳感器、微執(zhí)行器以及相應(yīng)的信號處理控制電路,直至接口、通訊和電源于一體的微型器件或系統(tǒng)。在微執(zhí)行器中,通常將靜電電動機作為首選,它負(fù)責(zé)將電信號轉(zhuǎn)換成機械運動,其體積的大小和性能的優(yōu)劣直接影響到MEMS的整體品質(zhì),作為MEMS關(guān)鍵部件的靜電電機的研制越來越受到人們的關(guān)注。

  目前,對MEMS器件進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析的研究較多,而在靜電方面所作的分析較少。本文分析的扁平駐極體微電機與以往的硅微靜電電機不同,轉(zhuǎn)子采用聚四氟乙烯(PTFE)駐極體材料制成。其轉(zhuǎn)子表面儲存有面電荷,電荷衰減時間常數(shù)比駐極體形成的周期長得多。對于微米量級的間距,較小的電壓就可產(chǎn)生較大的靜電力。為了對靜電電動機進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計,有必要對微電機定子和轉(zhuǎn)子間的靜電場進(jìn)行有限元分析。

  通過用ANSYS程序?qū)Ρ馄今v極體微電機的三維實體模型進(jìn)行靜電場分析,得到了整個系統(tǒng)的電場能量和轉(zhuǎn)子受到的靜電驅(qū)動力。

  1駐極體微電機原理所示的是扁平駐極體微電機,(b)是在Pro/E軸徑為20Um;鋁材定子厚為1Um;駐極體轉(zhuǎn)子厚h=0.5Pm;其相對介電常數(shù)£;。= 2.1;空氣體圓盤外半徑為175Um;圓盤厚為5Um;定轉(zhuǎn)子間的氣隙間距di=1.25從m;定子間的氣隙間距心=3Um;鋁材的上、下定子間施加峰值V=500V的方波電壓;駐極體轉(zhuǎn)子表面的面電荷轉(zhuǎn)子單位長度所受力為匕(其方向垂直于轉(zhuǎn)子半徑)可見單位長度力F;是電壓V的二次函數(shù)。

  2三維有限元分析2*1創(chuàng)建基本模型由于電機結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,利用Pro/E強大的三維立體建模功能,進(jìn)行零件的繪制與裝配,最終,形成IGES格式文件。

  2.2設(shè)定單元類型單元類型決定了附件的自由度(位移、轉(zhuǎn)角、溫度等)。

  許多單元還設(shè)置了一些單元的選項,如,單元特性和假設(shè),單元結(jié)果的打印輸出選項等。本文工作屬于微觀領(lǐng)域的靜電分析,故選擇靜電三維單元SOLID122. 2.3定義材料屬性材料屬性是與幾何模型無關(guān)的本構(gòu)屬性,例如:楊氏膜量、相對介電常數(shù)等。雖然材料屬性并不與單元類型聯(lián)系在一起,但由于計算單元矩陣時需要材料屬性,ANSYS為了用戶使用方便,對每種單元類型列出了相應(yīng)的材料屬性。

  根據(jù)不同的應(yīng)用,材料屬性可以是線性的或者是非線性的。與單元類型相似,一種分析中可以定義多種材料,每種材料設(shè)定一個材料編號。易知空氣體的相對介電常數(shù)為1;轉(zhuǎn)子為駐極體材料,相對介電常數(shù)為2.1. 2.4網(wǎng)格劃分對靜電場分析而言,在網(wǎng)格劃分時沒有必要對每一個導(dǎo)體都進(jìn)行劃分,因為它們都是等勢體。因此,只需對電場所能觸及到的電介質(zhì)和空氣體進(jìn)行網(wǎng)格劃分。另外,轉(zhuǎn)子是由聚四氟乙烯駐極體材料制成,要在其上下表面加載面電荷密度,故也需要對轉(zhuǎn)子進(jìn)行網(wǎng)格劃分。網(wǎng)格圖如。

  扁平駐極體微轉(zhuǎn)子網(wǎng)格。5加載將峰值500V的方波電壓加在定子表面的節(jié)點上,將面電荷密度為6.4x10-5UC/m2直接加在轉(zhuǎn)子的上、下表面上,再在面上加上Maxwell受力標(biāo)志;在空氣體圓柱外表面的節(jié)點上加載零電壓,這樣就完成了加載。

  2.6求解2.6.1選擇求解器在所有的前處理、網(wǎng)格劃分、施加載荷、控制載荷都完成了之后,在程序進(jìn)入分析求解之前,要給程序指定求解器,也就是指定在程序求解方程的時候所使用的計算方法。

  不完全喬列夫斯基共軛梯度法(ICCG)對于不良矩陣更加具有穩(wěn)定性,而且這種方法比直接解法要快。所以,本次選擇ICCG求解器。

  置開始求解。

  2.7后處理當(dāng)完成計算以后,可以通過后處理器查看結(jié)果,單擊主菜單中的GeneralPostproc可以直接進(jìn)入到通用后處理模塊(POST1),導(dǎo)出結(jié)果列表。

  3結(jié)果分析通過ANSYS分析,得到了整個系統(tǒng)的電場能量和轉(zhuǎn)子所受到的靜電驅(qū)動力心。改變方波電壓的峰值,將導(dǎo)出的靜電力Fz與理論值比較,見表1.表1Fz理論值與計算值定子間電壓(V)系統(tǒng)電場能量計算值(pJ)(下轉(zhuǎn)第85頁)表1 1和2壓力傳感器的實驗數(shù)據(jù)1壓力傳感器2壓力傳感器壓力中心波長波長漂移壓力中心波長波長漂移4結(jié)論研究和實驗表明:這種壓力傳感器可實現(xiàn)對光纖的橫向壓力進(jìn)行測量,因此,在壓力作用方向上的尺寸很小,可以制作成厚度尺寸很小的微型壓力傳感器。而且相比較同類傳感器具有非常高的壓力靈敏度。同時,這種新型的光柵壓力傳感器容易封裝,可定量機械加工,傳感器具有結(jié)構(gòu)精巧、重量輕、尺寸小、準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好等優(yōu)點,可以適用于各種需要壓力測量和對傳感器尺寸和結(jié)構(gòu)有苛刻要求的應(yīng)用環(huán)境。

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