太赫茲系統有連續波和脈沖波兩種模式。在連續波系統（CW）中，一個半導體被激發產生兩束太赫茲的紅外光束；在脈沖波（PW）系統中，一個飛秒（10-15s）光脈沖激發半導體產生太赫茲脈沖。連續波系統通常更加昂貴，脈沖波系統能夠提供材料特性和深度等更加詳細的信息。脈沖波系統可通過發送一個頻段的頻率（高達5THz）來獲取材料信息，而連續波系統只能通過單一頻率獲取信息。