簡介

     超純水制備中，TOC(總有機(jī)碳)的降解至關(guān)重要，采用UV-185nm低壓高能紫外技術(shù)，并結(jié)合UV-254nm紫外線殺菌器，能夠通過高劑量的UV-185nm紫外光催化，在水中產(chǎn)生羥基自由基，對水中的有機(jī)物進(jìn)行氧化降解，以降低水中的TOC含量。

去除TOC的工作原理

     TOC降解器中裝有可產(chǎn)生185nm波長的紫外燈管，當(dāng)純水用185nm紫外光直接照射時(shí)，水中TOC與光子直接碰撞的幾率很低，靠水中TOC雜質(zhì)直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困難的，所以可以認(rèn)為185nm紫外光降解水中TOC時(shí)185nm紫外光先與水作用，引起水的均裂反應(yīng)， 因而185nm紫外光照射水時(shí)，在185nm紫外光所能照射的范圍內(nèi)可以產(chǎn)生中間體HO-,H·和eaq(水合電子)，這些活性中間體再與水中有機(jī)物發(fā)生親電、親核或電子轉(zhuǎn)移反應(yīng)，引起水中有機(jī)物的降解和礦化，并使其TOC濃度降低。

為什么會使用185nm波長

     根據(jù)中國目前超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和研究水平的需要，為使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L，國內(nèi)首先在高純水設(shè)備中用185nm紫外線照射，使水中TOC降低到小于3μg/L，解決了兆位電路及大直徑硅片用高純水的關(guān)鍵技術(shù)難題。若不用185nm紫外線照射，目前高純水中TOC較好的只能做到20～50μg/L。

     185nm紫外線是一種波長較短、能量較高的超紫外線，其能量相當(dāng)于6.7eV，而一般用于高純水中的為254nm波長的紫外線，其能量相當(dāng)于4.88eV，對于這兩種紫外線去除有機(jī)物，效果有所不同，下圖列出某些有機(jī)物化學(xué)鍵的鍵能及相應(yīng)的波長。

TOC降解器圖片

化學(xué)鍵的鍵能表

     根據(jù)上圖所列各種化學(xué)鍵，若用185nm紫外線，除C≡C，C=O鍵外，其余化學(xué)鍵的鍵能均小于6.7eV，均能被破壞。若用254nm紫外線，其鍵能為4.88eV，那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O鍵的鍵能均大于4.88eV，都不能被破壞，而O-H、Si-O鍵的鍵能與254nm紫外線接近，也不易被完全破壞，因此許多有機(jī)物在185nm紫外線下被破壞，而在254nm波長的紫外線下不能被破壞，這就是185nm紫外線更能有效地降低水中的TOC的道理。利用這一鍵能理論，以185nm紫外線照射高純水應(yīng)降低TOC，使兆位電路用水TOC下降到小于3μg/L，并在中國成功地用于ULSI和直徑200mm硅片及硬盤磁頭生產(chǎn)中，效果很好。

主要功能及特征

      a、用于超純水制配中TOC降解。

      b、有超高的殺菌功效。

      c、紫外線TOC降解設(shè)備必須安裝精制混床，以保證不增加新的TOC及恢復(fù)水中的電解氯。

      d、TOC降解的幅度取決于水中TOC的構(gòu)成情況及紫外線TOC降解設(shè)備劑量設(shè)計(jì)。紫外線TOC降解設(shè)備能夠使TOC降到10ppb。

結(jié)構(gòu)：承壓筒體

材質(zhì)：筒體：304材質(zhì)。316L材質(zhì)可選

現(xiàn)場

應(yīng)用：EDI生產(chǎn)線

客戶：通用電氣水處理技術(shù)（無錫）有限公司

核心優(yōu)勢：脫除TOC效率大于60%，性能穩(wěn)定可靠

概述：處理水量15T/H

項(xiàng)目概況：通用電氣公司(GE)是多元化服務(wù)性公司，世界500強(qiáng)之中位居前列。

檢驗(yàn)生產(chǎn)調(diào)試包裝

不銹鋼材質(zhì)分析及檢驗(yàn)

    沛德水處理公司在采購TOC降解器原材料后，檢測部的檢測人員都會對原材料進(jìn)行嚴(yán)格檢測。沛德水處理高價(jià)購買（20萬）的手持式合金分析儀，具有革命性的GOLDD技術(shù)，極高的靈敏度與檢測精度。購買手持式合金分析儀可謂是一種昂貴的投資，沛德水處理注重產(chǎn)品質(zhì)量控制，因此材料檢驗(yàn)一定要好的檢測設(shè)備。

焊接效果

焊接 

機(jī)械拋光

電解拋光

亞光處理

控制箱的制作

水質(zhì)分析檢查

TOC降解器出貨包裝